水晶堆積モニターインターフェース

対象購入者

真空成膜、コーティング、薄膜装置および研究プラットフォーム

テストおよびアセンブリオブジェクト

顧客供給のQCMモニターおよびコーティングコントローラー

開発と納品

周波数、厚さの推定値を読み取り、パラメータを設定し、バッチを関連付けます

プロジェクト入力

顧客基準機器/測定機器、幾何学的データム、クランプおよび誤差バジェット

受付方法

周波数と独立した厚さの基準比較、密度と音響インピーダンスのパラメータには明確な情報源があります

実装手順

オブジェクトとインターフェイスの検証 → リファレンスリンクとソリューションの確認 → 単一モジュールのプロトタイプ → 機器と機器の共同デバッグ → 独立したリファレンスの再検査 → ソースコード、構成、記録の配信。

設備の状態と範囲の確認

範囲には、制御ボード、ファームウェア、機器ドライバー、ホスト ソフトウェア、プロセス構成、およびテスト記録が含まれる場合があります。機械設備、耐圧構造、流体回路、電力回路、光学的または音響的基準は、責任者によって提供されるか、個別に設計されます。測定仕様は、ターゲット機器および独立した基準による検証を通じて確立されます。

ソース コード、設計文書、機器のライセンス、調達、オンサイト サポート、および継続的なメンテナンスの範囲は、プロジェクト文書に記載されています。

関連サービス

• テストアセンブリおよび計測器開発カタログを表示する
• スピンドルのラジアル振れおよび回転誤差測定ツール
• 複数セクションの真円度および円筒度データの評価
• プロファイルおよび粗さ測定器のインターフェースとバッチ評価