Interfaces de monitor de deposição de cristal de quartzo

Compradores aplicáveis

Revestimento a vácuo, revestimento, equipamento de filme fino e plataforma de pesquisa

Objetos de teste e montagem

Monitores e controladores de revestimento fornecidos pelo clienteQCM

Desenvolvimento e entrega

Ler frequência, estimativa de espessura e definir parâmetros, correlacionar lotes

Entrada do projeto

Instrumentos/instrumentos de medição de referência do cliente, dados geométricos, orçamentos de fixação e erros

Método de aceitação

Comparação de referência de frequência e espessura independente, parâmetros de densidade e impedância acústica têm fontes claras

Etapas de implementação

Verificação de objeto e interface → Link de referência e confirmação da solução → Protótipo de módulo único → Depuração conjunta de instrumentos e equipamentos → Reinspeção de referência independente → Código fonte, configuração e entrega de registros.

Condição do equipamento e confirmação do escopo

O escopo pode incluir placas de controle, firmware, drivers de instrumentos, software host, configuração de processos e registros de testes. Dispositivos mecânicos, estruturas de suporte de pressão, circuitos de fluidos, circuitos de potência e referências ópticas ou acústicas são fornecidos ou projetados separadamente pelos responsáveis. As especificações de medição são estabelecidas através de validação com o equipamento alvo e referências independentes.

O código-fonte, os documentos do projeto, o licenciamento do instrumento, a aquisição, o suporte no local e o escopo da manutenção contínua estão listados nos documentos do projeto.

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